所謂真空,是指在給定的空間內,壓力低于101325Pa的氣體狀態。在真空狀態下,氣體的稀薄程度通常用氣體的壓力值來表示,顯然,該壓力值越小則表示氣體越稀薄。工業上有各種各樣的微型真空泵,對于各種泵的性能都有規定的測試方法來檢驗,主要參數有:
1、抽氣速率:在真空泵的吸氣口處,單位時間內流過的氣體體積。
傳統工業用真空泵體積普遍很大,而且泵的工作需要特殊的真空泵油和潤滑機油,介質氣體內會含有大量油霧。隨著儀器儀表工業的發展以及人們對環保的要求,各國的微型無油真空泵應運而生,普遍有以下規律:泵的價格和真空度指標密切相關。真空度指標是各國生產商努力追求的主要指標,它反應了相應的機械加工、密封技術、材料科學等領域的整體實力,也是生產商獲取利潤的重要手段。要提高真空度指標,就必須有更高的密封條件,因此就需要采用尺寸更精確、材料性能更優異的零部件,于是生產成本就大幅度提高了。而且價格的增幅遠遠大于真空度指標的增幅。當然,抽氣速率的提高也會引起價格的攀升,但其增幅不大。因此,選擇微型真空泵時需要認真考慮真空度指標、抽氣速率指標、這樣才能最好地兼顧使用性能和成本。
高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件,因此它對工作環境的清潔條件、溫度參數、介質成分等均有更高的要求。真空泵的抽氣速率和真空度越高,振動和噪音也越大
2、極限真空(通常稱為真空度):將真空泵與檢測容器相連,放入待測的氣體后,進行長時間連續抽氣,當容器內的氣體壓力不再下降而維持某一定值時,此壓力稱為泵的極限真空。該值越小則表明越接近理論真空。
普通真空表測得的真空值(即:表壓)為相對真空度,用負數表示,是指被測氣體壓力與大氣壓的差值。
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